Aperçu des semaines

  • Généralités

  • Fiche-contact


    • Enseignant : Dr. BRIXI NIGASSA Mohammed El Amine

      Université de Tlemcen

      Faculté : Technologie

      Département : Génie Electrique et Electronique (GEE)

      Public cible : Master 2 Instrumentation Electronique

      Intitulé du cours : Microtechnologies et microsystèmes

      Crédit : 08

      Coefficients : 04

      Durée : 14 semaines

      Horaire : Dimanche : 8h30 – 10h00

      Salle : C204

      Contact : mohammedelamine.brixi-nigassa@univ-tlemcen.dz

                        aminebrixi.tlm@gmail.com

      Disponibilité : Laboratoire de Recherche Génie Biomédical : Lundi et Mercredi de 8h30 à 12h00



  • Objectifs du cours

    • L'objectif de ce cours est d'introduire les micro-technologies et microsystèmes ainsi que leurs domaines d'applications. A partir de là, l'étudiant sera capable de modéliser et concevoir un microsystème en fonction d'un cahier de charge donné. Il sera ainsi capable d'identifier le mode de transduction adéquat, les matériaux et les techniques de dépôts et de gravures nécessaires à cette élaboration.

  • Pré-requis


    • Pour pouvoir tirer le maximum de ce cours, il faut avoir :

      • Quelques notions de base sur les Microtechnologies.
      • Notions sur les procédés de réalisation en salle blanche.
      • Quelques notions en matériaux.

      Afin de vous aider dans cette démarche, je mets à votre disposition un lien contenant quelques documents que je vous invite vivement à consulter.


  • Table des matières

  • Version SCORM Détaillée

  • Introduction aux microsystèmes (MEMS)

  • Technologies et fabrication des microsystèmes

  • Modalité d'évaluation du cours

  • Glossaire

    • Références Bibliographiques

      • GT 18-4 CIAME SEE, Michel ROBERT, Mireille BAYART, André CHOVIN, Blaise CONRARD, ‘Capteurs et actionneurs intelligents', DOSSIER Techniques de l'Ingénieur ‘s7520'.

        Daniel ESTÈVE, Jean SIMONNE, ‘Microsystèmes', DOSSIER Techniques de l'Ingénieur ‘e2305'.

        Philippe ANDREUCCI, Catherine SCHAFFNIT, Sylvain PAINEAU, Stéphane MAGATON, ‘Microsystèmes : applications et mise en œuvre', DOSSIER Techniques de l'Ingénieur ‘e3090'.

        Michel MASSÉNAT, ‘Circuits en couches minces – Couches minces traditionnelles' DOSSIER Techniques de l'Ingénieur ‘e3365'.

        Laure SEVELY, Laurie VALBIN Patrick POULICHET Gilles AMENDOLA, ‘Les capteurs MEMS - Principes de fonctionnement', DOSSIER Techniques de l'Ingénieur ‘r430'.

        Jeff Perkins, ‘MEMS Market Overview: Future Growth area' Microtech Anaheim June 2010.

        H. Nathanson et al., « The Resonant Gate Transistor », Mar. 1967, Transactions on Electron Devices, vol. ED-14 No. 3, IEEE, pp. 117-133.

        M. Cueff, Micro-actionneurs piézoélectriques. PhD thesis, Université de Grenoble, 2011.

        O. Solgaard, F. S. A. Sandejas, and D. M. Bloom, "Deformable grating optical modulator," Opt. Lett. 17, 688-690 (1992).

        Fan, L.-S.;Tai, Y.-C.;Muller, R.S. (1989) IC-processed electrostatic micromotors. Sensors & Actuators, 20: 41–48.

        Royer, J., Tessier, P. Y., Grolleau, B., et Turban, G.: 1996, J. Vac. Sci. Technol. A14, 234.

        Y. Zhu, W. Liu, K. Jia, W. Liao, et H. Xie, « A piezoelectric unimorph actuator based tip-tilt-piston micromirror with high fill factor and small tilt and lateral shift », Sens. Actuators Phys., vol. 167, no 2, p. 495‑501, juin 2011.

        Isabelle DUFOUR, Frédéric LOCHON, ‘Microcapteurs chimiques en micropoutres silicium pour régime dynamique', DOSSIER Techniques de l'Ingénieur ‘in84'.

        Isabelle DUFOUR, Emmanuel SARRAUTE, ‘Micromoteurs électrostatiques à capacité Variable', DOSSIER Techniques de l'Ingénieur ‘d3770'. RoyaMaboudian, ‘Surface processes in MEMS technology', Department of Chemical Engineering, University of California,Berkeley, CA 94720, USA.

        Sorin CRISTOLOVEANU, Francis BALESTRA, ‘Technologie silicium sur isolant (SOI)', DOSSIER Techniques de l'Ingénieur ‘e2380'.

        Carole HENAUX, Bertrand NOGAREDE, Jean-François ROUCHON, ‘Actionneurs électromécaniques pour la robotique et le positionnement - Fondamentaux et structures de base', DOSSIER Techniques de l'Ingénieurd5341.

        Alfred PERMUY, Éric DONZIER, Fadhel REZGUI, ‘Capteurs microélectroniques', DOSSIER Techniques de l'Ingénieur ‘e3093'.

        Anna-Maija KÄRKKÄINEN, Antti MANNINEN, Nadine PESONEN, Aarne OJAHeikki SEPPÄ, ‘Applications des MEMS à la métrologieélectrique', DOSSIER Techniques de l'Ingénieur ‘r1002'.

        Luc FEDERZONI, ‘Fabrication de pièces sans usinage : lemicroPIM', DOSSIER Techniques de l'Ingénieur ‘in55'.

        Thomas SKOTNICKI, ‘Transistor MOS et sa technologie de Fabrication', DOSSIER Techniques de l'Ingénieur ‘e2430'.

        Pierre JOSEPH, Aurélien BANCAUD, Patrick ABGRALL, ‘Systèmes nanofluidiques. Technologies et applications', DOSSIER Techniques de l'Ingénieur ‘nm250'.

        Carole ROSSI, ‘Nano matériaux énergétiques : perspectives d'intégration dans les microsystèmes', DOSSIER Techniques de l'Ingénieur ‘nm5050'.BibliographieVII

        Philippe BELLEVILLE, Philippe BOY, ‘Matériau PZT compatible avec le silicium Procédé de dépôt par voie sol-gel', DOSSIER Techniques de l'Ingénieur ‘in40'.

        Jorge-Luis REGOLINI, ‘Technologie de fabrication de la microélectronique Opérations élémentaires', DOSSIER Techniques de l'Ingénieur ‘e2410'.

        R. Lakhmi, H. Debeda, I. Dufour, C. Lucat, et M. Maglione, « Study of Screen-Printed PZT Cantilevers Both Self-Actuated and Self-Read-Out », Int. J. Appl. Ceram. Technol., vol. 11, no 2, p. 311‑320, mars 2014.

        W. Sripumkhai, S. Porntheeraphat, B. Saekow, W. Bunjongpru, S. Rahong, et J. Nukeaw, « Effect of annealing temperature on platinum thin films prepared by electron beam evaporation », J. Microsc. Soc. Thail., vol. 24, no 1, p. 51–54, 2010.

        Emmanuel DEFAŸ, Elaboration et caractérisation de couches minces piézoélectriques de Pb(Zr,Ti)O3 sur silicium pour applications aux microsystèmes, thèse de doctorat, INSTITUT NATIONAL DES SCIENCES APPLIQUEES DE LYON, 1999.

        M. E. A. Brixi Nigassa, 'Conception et réalisation d'un micro-actionneur à forte amplitude de déflexion', Thèse de doctorat, Université de Tlemcen, 2018.

        J. Abergel, « Matériaux piézoélectriques à forte déformation pour l'actionnement microsystème », Université de Grenoble, 2014M.


    • Webographie

      • Y. Developpement, “Yole developpement - mems market.” http ://www.yole.fr, 2016.

        https://www.analog.com/media/en/technical-documentation/obsolete-data-sheets/2044696ADXL50.pdf.

        Tang, W.C.;Nguyen, T.-C.H.;Howe, R.T. (1989) Laterally driven polysilicon resonant microstructures. Sensors & Actuators, 20: 25–32

        PVD + Ebeam Renne. [En ligne]. Disponible sur: https://microelectronique.univ-rennes1.fr/fr/chap8c.htm.

        Olivier THOMAS, Yves BRECHET, Jean PHILIBERT, Dominique MANGELINK, ‘Métallurgie pour la microélectronique à support silicium', DOSSIER Techniques de l'Ingénieur ‘m14'.

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